ເລນ F-Theta ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປຮ່ວມກັບກະຈົກສະແກນ galvanometer ໃນລະບົບການແກະສະຫຼັກດ້ວຍເລເຊີ, ການຕັດ ແລະ ການໝາຍ. ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວ ການບິດເບືອນ F-Theta ຂອງເລນຈະຖືກຮັກສາໄວ້ໜ້ອຍກວ່າ 1% ເພື່ອໃຫ້ມັນສາມາດສ້າງຈຸດທີ່ແນ່ນອນໃນພາກສະໜາມຮາບພຽງເທິງພື້ນຜິວຮູບພາບ.
ຄວາມທົນທານຕໍ່ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ: +0/-0.13 ມມ
ຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມໜາ: ± 0.25 ມມ
ຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຍາວໂຟກັສ: ± 2%
ການປ່ຽນແປງຄວາມໜາຂອງຂອບ (ETV): ≤3 arc min.
ຮູຮັບແສງ: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
ຄຸນນະພາບພື້ນຜິວ: 40-20 SD
ການເຄືອບ AR: R<0.2% ຕໍ່ໜ້າຜິວ @10.6μ