ການກວດກາຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ, ຄວາມສູງຂອງຂັ້ນຕອນ ແລະ ຄວາມໜາຂອງຟິມບາງໆເທິງແຜ່ນເຄິ່ງຕົວນຳ, ເລນແສງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ແລະ ອົງປະກອບທີ່ເຄືອບແລ້ວ ກຳນົດຜົນຜະລິດໂດຍກົງ. ການສະແກນໂພຣບຕິດຕໍ່ແບບດັ້ງເດີມສາມາດຂູດຕົວຢ່າງທີ່ລະອຽດອ່ອນໄດ້ງ່າຍ, ໃນຂະນະທີ່ອຸປະກອນວັດແທກແສງທຳມະດາບໍ່ສາມາດໃຫ້ຄວາມແມ່ນຍຳລະດັບນາໂນໄດ້. ວິທີການບັນລຸການທົດສອບທີ່ບໍ່ທຳລາຍ, ຄວາມແມ່ນຍຳຂອງນາໂນທີ່ສູງຫຼາຍ ແລະ ການກວດກາການຜະລິດຈຳນວນຫຼາຍທີ່ມີປະລິມານສູງໃນເວລາດຽວກັນ?
ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມຖີ່ແສງສີຂາວແບບອຸດສາຫະກຳລຸ້ນໃໝ່ຂອງ OE ມີໂໝດການວັດແທກຄວາມຖີ່ສອງແບບ. ດ້ວຍການກວດຈັບແບບບໍ່ສຳຜັດ, ມັນກວມເອົາຂັ້ນຕອນການເຮັດວຽກທັງໝົດຕັ້ງແຕ່ການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາໃນຫ້ອງທົດລອງຈົນເຖິງການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບການຜະລິດອອນໄລນ໌.
ຮູບແບບການແຊກແຊງແບບ Dual Core ສຳລັບທຸກຮູບແບບພື້ນຜິວ
ບໍ່ເຫມືອນກັບອຸປະກອນວັດແທກໂໝດດຽວ, ລະບົບນີ້ປະສົມປະສານອັລກໍຣິທຶມ VSI (Vertical Scanning Interferometry) ແລະ PSI (Phase-Shifting Interferometry) ເຂົ້າກັນ, ເຊິ່ງຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການການວັດແທກສອງຫຼັກດ້ວຍເຄື່ອງດຽວ.
| ລາຍການປຽບທຽບ | VSI / CSI | PSI |
|---|---|---|
| ພື້ນຜິວຫຼັກທີ່ໃຊ້ໄດ້ | ພື້ນຜິວທີ່ຫຍາບຄາຍ, ຂັ້ນໄດ, ພູມສັນຖານທີ່ບໍ່ຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ສະລັບສັບຊ້ອນ | ພື້ນຜິວທີ່ລຽບນຽນ, ຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ເປັນກະຈົກ |
| ຂອບເຂດການວັດແທກຄວາມສູງແນວຕັ້ງ | ລະດັບຄວາມກ້ວາງ; ສາມາດວັດແທກຮ່ອງເລິກ ແລະ ຂັ້ນໄດສູງໄດ້ | ຂອບເຂດແຄບ; ບໍ່ເໝາະສົມສຳລັບຂັ້ນໄດຂະໜາດໃຫຍ່ທີ່ໂດດດ່ຽວ |
| ຄວາມລະອຽດແນວຕັ້ງ | ລະດັບນາໂນແມັດ; ຍ່ອຍນາໂນແມັດສາມາດບັນລຸໄດ້ດ້ວຍອັລກໍຣິທຶມທີ່ດີທີ່ສຸດ | ຄວາມລະອຽດສູງສຸດ; ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້ລົງເຖິງລະດັບ sub-nanometer ແມ່ນແຕ່ລະດັບ sub-angstrom |
| ຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ | ສູງ | ຕ່ຳ |
| ຄວາມບໍ່ແນ່ນອນຂອງໄລຍະ | ເກືອບບໍ່ມີເລີຍ; ມີຜົນຜະລິດຄ່າຄວາມສູງຢ່າງແທ້ຈິງ | ຂຶ້ນກັບຄວາມຜິດພາດຂອງການຫໍ່ເຟສ 2π |
| ການວັດແທກຄວາມໄວ | ຕ້ອງການການສະແກນແກນ, ຂ້ອນຂ້າງຊ້າ | ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວໄວກວ່າ |
| ຄວາມຕ້ານທານການສັ່ນສະເທືອນ | ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການສັ່ນສະເທືອນໃນລະຫວ່າງການສະແກນ | ການປ່ຽນເຟຣສຫຼາຍເຟຣມ, ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການສັ່ນສະເທືອນຫຼາຍຂຶ້ນ |
| ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທົ່ວໄປ | ຄວາມຫຍາບ, ຄວາມສູງຂອງຂັ້ນໄດ, ໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກ, ພື້ນຜິວທີ່ຖືກເຄື່ອງຈັກ | ການທົດສອບຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວທີ່ລຽບນຽນເປັນພິເສດ, ຮູບຮ່າງພື້ນຜິວ ແລະ ຄວາມຮາບພຽງ |
PSI (Phase-Shifting Interferometry): ຊ່ຽວຊານໃນລັກສະນະຄວາມສູງຂະໜາດນ້ອຍຂະໜາດນາໂນ ແລະ ຟິມບາງພິເສດ, ໃຫ້ຄວາມລະອຽດສູງສຸດໃນກ້ອງຈຸລະທັດ.
ກະຈົກຮາບ
ກະຈົກໂຄ້ງ (ກະຈົກນູນ)
ຕົວຢ່າງຮູບແບບການພິມດ້ວຍແສງ
ການແຊກແຊງການສະແກນແນວຕັ້ງ VSI: ເໝາະສົມສຳລັບຊິ້ນວຽກທີ່ມີການປ່ຽນແປງຄວາມສູງຫຼາຍ ແລະ ຂັ້ນໄດສູງ; ມີລະດັບການວັດແທກເຕັມທີ່ໂດຍບໍ່ຕ້ອງມີການສະແກນແບບແບ່ງສ່ວນ.
ອາເຣຈຸນລະພາກວົງມົນເທິງແຜ່ນເວເຟີທີ່ຫຸ້ມຫໍ່ຂັ້ນສູງ
ອາເຣຈຸນລະພາກຮູບໄຂ່ເທິງແຜ່ນເວເຟີທີ່ຫຸ້ມຫໍ່ຂັ້ນສູງ
ອາເຣເລນໄມໂຄຣ
ຈັບຄູ່ກັບແຫຼ່ງແສງສີຂາວທີ່ມີຄວາມຍາວສັ້ນ 450–700 nm, ມັນສາມາດສະກັດກັ້ນແສງທີ່ຫຼົງໄຫຼຈາກການສະທ້ອນຫຼາຍຄັ້ງໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ ແລະ ໃຫ້ປະສິດທິພາບຕ້ານການແຊກແຊງທີ່ເຂັ້ມແຂງ. ດ້ວຍການເຄືອບຫຼາຍຊັ້ນ, ອົງປະກອບທາງແສງທີ່ມີການສະທ້ອນຕ່ຳນີ້ສາມາດສົ່ງສັນຍານການແຊກແຊງທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ແຕກຕ່າງ, ໃຫ້ຜົນໄດ້ຮັບການວັດແທກທີ່ແທ້ຈິງ ແລະ ໜ້າເຊື່ອຖື.
2. ສະເປັກຊັ້ນນາໂນຊັ້ນນໍາຂອງອຸດສາຫະກໍາ, ຂໍ້ມູນໄລຍະຍາວທີ່ຕິດຕາມໄດ້ ແລະ ໝັ້ນຄົງ
- ລະບົບດັ່ງກ່າວໃຊ້ແຫຼ່ງແສງ LED ສີຂາວທີ່ມີຄວາມຍາວຄື້ນສູນກາງ 550 nm, ພ້ອມດ້ວຍຕົວກໍານົດການປະຕິບັດຫຼັກຊັ້ນນໍາທີ່ກົງກັບມາດຕະຖານພຣີມຽມທົ່ວໂລກ.
-ຄວາມລະອຽດແນວຕັ້ງ: <1 nm, ຄວາມຜິດພາດໃນການວັດແທກຊ້ຳ: <10 nm, ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງນາໂນແມັດທີ່ແທ້ຈິງ
- ຂອບເຂດການວັດແທກແນວຕັ້ງສູງສຸດ: 500 μm, ບໍ່ຕ້ອງການການປັບຕຳແໜ່ງຊ້ຳໆສຳລັບໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກສູງ-ຕ່ຳ.
-ຄວາມໄວໃນການສະແກນ: 100 μm/s, ການສະແກນເຕັມຄັ້ງດຽວສຳເລັດພາຍໃນ 10 ວິນາທີ, ສົມດຸນຄວາມແມ່ນຍຳ ແລະ ຜົນຜະລິດໃນການກວດກາ.
- ສອດຄ່ອງກັບມາດຕະຖານ NIST ທີ່ສາມາດຕິດຕາມໄດ້, ອັລກໍຣິທຶມການປັບທຽບອັດຕະໂນມັດໃນຕົວຮັບປະກັນຂໍ້ມູນກຸ່ມທີ່ສາມາດຕິດຕາມໄດ້ຢ່າງສອດຄ່ອງ, ຕອບສະໜອງມາດຕະຖານ QC ທີ່ເຂັ້ມງວດສຳລັບອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ທາງດ້ານແສງ.
| ລາຍການ | ພາລາມິເຕີ |
| ການວັດແທກຄວາມຈຸ | ພູມສັນຖານພື້ນຜິວແບບ 3 ມິຕິ, ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ, ຄວາມສູງຂອງຂັ້ນໄດ ແລະ ຄວາມໜາຂອງຟິມຂອງວັດສະດຸສະທ້ອນແສງ ແລະ ອົງປະກອບທາງດ້ານແສງ |
| ຮູບແບບການເກັບກຳຂໍ້ມູນ | ການແຊກແຊງການສະແກນແນວຕັ້ງ (VSI) + ການແຊກແຊງການປ່ຽນໄລຍະ (PSI) |
| ລະບົບການປັບທຽບ | ມາດຕະຖານ NIST ທີ່ຕິດຕາມໄດ້ + ອັລກໍຣິທຶມການປັບທຽບອັດຕະໂນມັດ |
| ຂອບເຂດການວັດແທກແນວຕັ້ງ | 500 ໄມໂຄຣມ |
| ຂອບເຂດຂອງມຸມມອງ | ວັດຖຸປະສົງ 20 ×: 0.87 × 0.65 ມມ |
| ປະສິດທິພາບຂອງກ້ອງຖ່າຍຮູບ | ຄວາມລະອຽດສູງສຸດ: 2048 × 2448; ອັດຕາເຟຣມ: 74 Fps; ຄວາມເລິກຂອງບິດ: 12 ບິດ |
| ຄວາມໄວໃນການສະແກນ | 100 μm/s (ໂໝດຄວາມແມ່ນຍໍາ) |
| ຕົວເລືອກເລນເປົ້າໝາຍ | ຈຸດປະສົງການຂະຫຍາຍ 20x / 50x ທີ່ສາມາດຕັ້ງຄ່າໄດ້ |
| ການອອກແບບການຕິດຕັ້ງ | ແພລດຟອມແຍກການສັ່ນສະເທືອນທີ່ໃຊ້ງານໄດ້ໃນຕົວ, ສາມາດຕິດຕັ້ງໄດ້ທັງແນວນອນ ແລະ ແນວຕັ້ງ |
| ຂະໜາດໂດຍລວມ (ຍ × ກ × ສ) | 120 × 80 × 65 ຊມ |
| ນ້ຳໜັກສຸດທິ | ≤58 ກິໂລກຣາມ |
3. ການອອກແບບຕູ້ປະສົມປະສານອຸດສາຫະກໍາ, ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຫ້ອງທົດລອງ ແລະ ສາຍການຜະລິດ
ໄດ້ຮັບການປັບປຸງໃຫ້ເໝາະສົມສຳລັບທັງໂຮງງານຜະລິດຈຳນວນຫຼາຍ ແລະ ຫ້ອງທົດລອງຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດ ດ້ວຍຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງການຕິດຕັ້ງທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ.
ແພລດຟອມແຍກການສັ່ນສະເທືອນທີ່ໃຊ້ງານໄດ້ໃນຕົວ: ການວັດແທກທີ່ໝັ້ນຄົງພາຍໃຕ້ການສັ່ນສະເທືອນຂອງໂຮງງານ, ບໍ່ຕ້ອງການໂຕະແຍກການສັ່ນສະເທືອນເພີ່ມເຕີມ.
ໂຄງສ້າງການຕິດຕັ້ງຄູ່: ການຕິດຕັ້ງແບບອອກຕາມແນວນອນ ຫຼື ແນວຕັ້ງ, ການເຊື່ອມໂຍງງ່າຍໆກັບສາຍການຜະລິດແບບອັດຕະໂນມັດ ແລະ ສະຖານີເຮັດວຽກໃນຫ້ອງທົດລອງ.
ໂຄງສ້າງເຄື່ອງແບບ all-in-one ກະທັດຮັດ: ມີຂະໜາດນ້ອຍ 120 × 80 × 65 ຊມ, ນ້ຳໜັກ ≤58 ກິໂລກຣາມ, ຕິດຕັ້ງງ່າຍ ແລະ ສະດວກໃນສະຖານທີ່.
ລະບົບທີ່ສົມບູນປະກອບມີແຫຼ່ງກຳເນີດແສງ, ໜ່ວຍຫຼັກຂອງອິນເຕີເຟໂຣມິເຕີ ແລະ ໂມດູນຄວບຄຸມ. ສຽບແລ້ວໃຊ້ງານໄດ້ຫຼັງຈາກເປີດເຄື່ອງ, ບໍ່ຕ້ອງປັບເສັ້ນທາງແສງທີ່ສັບສົນ.
ການຄຸ້ມຄອງການນຳໃຊ້ທີ່ກວ້າງຂວາງສຳລັບການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ
ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ: ການກວດກາພູມສັນຖານແບບ 3 ມິຕິ ແລະ ຄວາມສູງຂອງແຜ່ນຊິລິໂຄນ ແລະ ຊິບຂະໜາດນ້ອຍ-ນາໂນ.
ທັດສະນະວິທະຍາຄວາມແມ່ນຍຳ: ການທົດສອບຄວາມຫຍາບ ແລະ ຄວາມໜາຂອງຟິມສຳລັບເລນແສງ, ວັດຖຸປະສົງ ແລະ ອົງປະກອບແສງທີ່ເຄືອບ.
ການເຄືອບໜ້າທີ່ໃໝ່: ການວິເຄາະໂປຣໄຟລ໌ພື້ນຜິວ ແລະ ຄວາມໜາຂອງຊັ້ນເຄືອບສະທ້ອນແສງ ແລະ ຟິມບາງທີ່ເຮັດວຽກໄດ້.
ຫ້ອງທົດລອງຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດ: ການວິເຄາະໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກ ແລະ ການທົດສອບຮູບຮ່າງຂອງອົງປະກອບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.
ດ້ວຍປະສົບການຫຼາຍປີໃນການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາທາງດ້ານແສງ, OE ພັດທະນາເສັ້ນທາງແສງຫຼັກ ແລະ ອັລກໍຣິທຶມການວັດແທກທັງໝົດສຳລັບອິນເຕີເຟໂຣມິເຕີແສງສີຂາວຢ່າງເປັນອິດສະຫຼະ. ການຄວບຄຸມດ້ານວິຊາການຢ່າງຄົບຖ້ວນຕັ້ງແຕ່ແຫຼ່ງແສງ, ເລນວັດຖຸຈົນເຖິງລະບົບການວັດແທກ. ທຸກໆໜ່ວຍໄດ້ຮັບການວັດແທກຄວາມແມ່ນຍຳຫຼາຍຮອບກ່ອນການຈັດສົ່ງ. ພວກເຮົາໃຫ້ການສະໜັບສະໜູນດ້ານວິຊາການຫຼັງການຂາຍຢ່າງຄົບຖ້ວນ ແລະ ປັບແຕ່ງວິທີແກ້ໄຂການວັດແທກສະເພາະໂດຍອີງໃສ່ຂະໜາດຊິ້ນວຽກຂອງລູກຄ້າ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການຂອງສາຍການຜະລິດອັດຕະໂນມັດ.
ເວລາໂພສ: 15 ກໍລະກົດ 2026